делах молекулярного строения между двумя отдельными поверхносгями под действием нагрева и давления. Для повышения силы сцепления поверхность фольги, покрываемая склеивающим веществом, делается шероховатой путем осаждения слоя меди в электролитической ванне или же оксидируется для создания меднозакисной пленки, обладающей полярностью. Сцепление повышается также при отожжении в вакууме. Сила сцепления изоляционной подложки с фольгой зависит от толщины фольги. Чем толще фольга, тем лучше ее сцепление с основанием. Заметное возрастание силы сцепления фольги с пластмассовыми подложками наблюдается при фольгировании в вакууме с остаточным давлением до 10 мм рт. Ст. за счет более полного удаления газовых вкраплений и растворителя нз граинчных областей фольга- подложка. Фолыироваиие щюгда производят ступенчато: напыляют диэлектрик основания на фольгу, а затем напыленную фольгу приклеивают к основанию. При этом прочность соединения достигает отрывного усилия 0,9 ... 1,4 кГ/мм.

§ 10,3. Материалы'для печатных схем СВЧ диапазона

Процесс получения печатной схемы в значительной мере определяет материалы, используемые для проводящего покрытия и изоляционного основания. Определяющим фактором при выборе материалов является область применения самой печатной схемы, предъявляемые требования к механическим и электрическим параметрам узла.

Подложки. В радиоэлектронике СВЧ наиболее широкое применение находят высокомолекулярные соединения- органические и неорганические полимеры и силикаты. Материалы подложек должны удовлетворять ряду требований: обладать достаточной механической прочностью, высоким удельным сопротивлением и малыми потерями, химической инертностью по отношению к проводящему покрытию, не иметь газовыделений в вакууме, допускать обработку до 12 класса шероховатости.

Керамические материалы. Стеатитовая керамика, используемая в качестве изоляционных оснований, изготавливается на основе талька, углекислых кальция и бария, глины и органических пластификаторов. После 244

формовки й сушки изделия из стеатита обжигают при температуре 1250 ... 1350°С. Изделия обладают высокой механической прочностью и малыми диэлектрическими потерями. В зависимости от исходного сырья и технологии производства существует несколько марок стеатитовой керамики (табл. 10.1). Отожженные стеатиты тверже стекла, поэтому обрабатывать керамические подложки можно корборундовыми или алмазными дисками. Отверстия высверливают ультразвуком.

Стекло и ситаллы. Стекло и изделия из стекла получают сплавлением стеклообразующих окислов с модификаторами (окислы кремния, бора, фосфора, германия и мышьяка с окислами натрия, калия, лития, цинка, бария и др.).

Модификацией сТекла являются ситаллы. По механическим свойствам они превосходят высокоуглеррдистые стали, легче алюминия, химически стойки, обладают малыми диэлектрическими потерями и стабильной величиной диэлектрической постоянной на высоких частотах. Ситаллы получают из стекла полной или частичной его кристаллизацией в присутствии катализаторов. В результате термической обработки образуется кристаллическая структура с размерами кристаллов до 40Х Х10~ ... 20-10 * мкм. Параметры стекол и ситаллов приведены в табл. 10.2.

Листовые пластические материалы. Пластические ма--териалы представляют собой комплексы низко- и высокомолекулярных групп, обладающих разными диэлектрическими свойствами. И хотя большинство из них в чистом виде обладают очень низкими диэлектрическими потерями, ряд существепных недостатков (плохие гяеха-нические свойства, низкая температура размягчения и ненадежное сцепление с металлическими покрытиями) ограничивает применение пластмасс в качестве изоляционных оснований печатных схем .СВЧ. Основные параметры пластмасс приведены в табл. 10.3.

Полиэтилен представляет собой цепное соединение молекул этилена. В чистом виде полиэтилен непо-лярен и потери его чрезвычайно малы. Загрязнение в процессе производства или в результате механической обработки может дать динольные группы, что ведет к увеличению потерь. По способу получения полиэтилен подразделяют на две группы - высокого и низкого давления, которые незначительно отличаются по парамет-17-792 245

рам. Полиэтилен устойчив к воздействию щеЛочеп, рл-створов солей п сильных кислот малой концентрации, 1И) разрушается при воздействии многих органических растворителей, минеральных смазочных масел, концентрированных кислот.

TAB лиц А 10.2

Фторопласты представляют собой полимеры га-лоидопроизводных этилена. Применение в технике находят фторопласт-4- и фторопласт-3. Фторопласт-4 не растворяется ни в одном растворителе, устойчив против концентрированных кислот и щелочей. При нагревании до 300°С фторопласт-4 разрущается расплавленными щелочными металлами, фтором, трехфтористым хлором. Фторопласты наиболее щирокое применение нашли в электронике СВЧ из-за стабильных диэлектрических параметров и малых потерь.

Полистирол получают полимеризацией стирола без инициаторов под действием тепла. Он обладает высокими диэлектрическими свойствами, чрезвычайно низкой электрической утечкой; сцепление медной фольги с полистиролом достаточно прочно. Полистирол устойчив к воздействию минеральных кислот и щелочей, спиртов, растительных масел, но разрущается азотной кислотой, растворяется в ароматических и хлорированных углеводородах, алифатических эфпрах и многих кетонах. Недостатками полистирола являются хрупкость и сравнительно низкая температура размягчения.

Пенопласты представляют собой материалы, состоящие из низкомолекулярных полиэфирных смол и нзоционата с добавкой катализатора. Основное газообразование происходит при взаимодействии полиэфира и изоционата с выделением СОг. Подбором соответствую-17* 247

ТАБЛИЦА 10.9

ТАБЛИЦА 10.4

ТАБЛИЦА 10.5

Првмечавве. Указанные в таблице значения в при частоте 1 Мгц имеют допуск ±5%, при частоте 10 ГГц ±10%.